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変角軸の数
| 4軸
X軸:照明部水平旋回軸
Y軸:照明部垂直旋回軸
Z軸:ステージ部θ軸(θH軸で構成される平面内で回転)
A軸:ステージ部θH軸(水平軸中心に旋回)
※受光部はステージ中心を指向するように外部に固定
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変角指定パラメータ
| 通常時(Rusinkiewicz座標系):ハーフベクトル(θh, φh)、差分ベクトル(θd, φd)
任意地点測定機能時(球面座標系):入射角(θi, φi)、反射角(θo, φo)
※装置の設計上、光源が移動できない経路は、全体を受光光軸を中心に180度回転して測定
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入射反射天頂角 変角範囲
| 0°〜80°(但し、入射、反射とも下記の変角不能域を除く) |
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入射反射方位角 変角範囲
| 0°〜360°(但し、入射、反射とも下記の変角不能域を除く) |
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変角不能域
| ステージに照明光が届かない位相(装置部品の突出部が照明を遮る位相)、
照明アーム先端部分が受光光軸を遮る位相 |
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角度精度
| X軸: 0.00288°/パルス(位置決め精度:±0.5°以内)
Y軸: 0.0144°/パルス(位置決め精度:±0.1°以内)
Z軸: 0.09°/パルス(位置決め精度:±0.5°以内)
A軸: 0.0144°/パルス(位置決め精度:±0.5°以内)
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位置決め時間
| X, Y軸: 45度ステップで1.25秒以内 Z, A軸: 45度ステップで2.5秒以内
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測定面積
| 反射天頂角0°で約φ7mm、80°で約7mm×40.3mm(楕円) |
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受光側開き角
| 0.92°(円形) |